【新商品情報】 “面光電”センサ「AIシリーズ」誕生! 面で検出し、絵で捉える。だから、ズレてもOK、判別も可能。詳細は こちら

カメラ プローブ ステージマーカー

カメラ プローブ ステージマーカー XM-1200

仕様

型式 XM-1200
種類 測定部(1プローブ)
カメラ 撮像素子 400万画素 CMOSイメージセンサ
受光中心波長 近赤外光
測定範囲 600mm×300mm×200mm
最小表示単位 距離 1μm
角度 0.0001度
測定精度 繰り返し精度 ステージロック時:±3μm
ステージアンロック時:±4μm
指示誤差 ステージロック時:±8μm ※1
ステージアンロック時:±(10+L/100)μm ※2
ステージ部 耐荷重 25kg
X軸可動範囲 ±100mm
回転範囲 ±60°
プローブ プローブ数 1
ステージマーカー マーカー数 6
マーカー光源 近赤外光LED870nm
プローブ接続ポート 2入力
コンソール入力 専用コンソール
外部リモート入力 無電圧入力(有接点/無接点) 2入力
ディスプレイ 内蔵ディスプレイ 15型 LCDモニター(XGA:1024×768)
インターフェース 通信(外部通信) USB2.0シリーズA 3系統
耐環境性 使用周囲温度 +10 ~ 35℃
使用周囲湿度 20 ~ 80%RH(結露なきこと)
電源 電源電圧 コントローラより供給
コネクタ形状 専用コネクタ
質量 約39.6kg(カメラ・ケーブル含む)
※1 JIS B7440-2参考、200×200×150mmの範囲内、使用周囲温度23℃±1℃のとき
※2 JIS B7440-2参考、500×200×150mmの範囲内、使用周囲温度23℃±1℃のとき

外形寸法図

単位:mm

外形寸法図_XM-1200
外形寸法図_XM-1200

他の商品シリーズ