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カメラ プローブ ステージマーカー

カメラ プローブ ステージマーカー XM-T1200

仕様

型式XM-T1200
種類測定部(2プローブ)
カメラ撮像素子400万画素 CMOSイメージセンサ
受光中心波長近赤外光
測定範囲600mm×300mm×200mm
最小表示単位距離1μm
角度0.0001度
測定精度繰り返し精度ステージロック時:±3μm
ステージアンロック時:±4μm
指示誤差ステージロック時:±8μm※1
ステージアンロック時:±(10+L/100)μm※2
ステージ部耐荷重25kg
X軸可動範囲±100mm
回転範囲±60°
プローブプローブ数2
ステージマーカーマーカー数6
マーカー光源近赤外光LED870nm
プローブ接続ポート2入力
コンソール入力専用コンソール
外部リモート入力無電圧入力(有接点/無接点) 2入力
ディスプレイ内蔵ディスプレイ15型 LCDモニター(XGA:1024×768)
インターフェース通信(外部通信)USB2.0シリーズA 3系統
耐環境性使用周囲温度+10 ~ 35℃
使用周囲湿度20 ~ 80%RH(結露なきこと)
電源電源電圧コントローラより供給
コネクタ形状専用コネクタ
質量約39.6kg(カメラ・ケーブル含む)
※1JIS B7440-2参考、200×200×150mmの範囲内、使用周囲温度23℃±1℃のとき
※2JIS B7440-2参考、500×200×150mmの範囲内、使用周囲温度23℃±1℃のとき

外形寸法図

単位:mm

外形寸法図_XM-T1200
外形寸法図_XM-T1200

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