【新商品情報】 “面光電”センサ「AIシリーズ」誕生! 面で検出し、絵で捉える。だから、ズレてもOK、判別も可能。詳細は こちら

XY測定システム

XY測定システム VH-M100

仕様

型式 VH-M100
ステージ移動量 X、Y各方向100mm
表示分解能 0.1μm
移動精度 4+0.02L(μm)※
定格 電源電圧 AC100~240V 50/60Hz
消費電力 50VA
耐環境性 使用周囲温度 +5~40℃
使用周囲湿度 35~80%RH(結露なきこと)
質量 18kg
積載荷重 3kg
Lは移動距離(mm)

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