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デジタルマイクロスコープ　VHX-900

3D形状自動測定ユニット

3D形状自動測定ユニット


VHX-S15

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仕様

型式 VHX-S15
適合レンズ VH-Z500(W-R)、VH-Z450、VH-Z100(W-R)、VH-Z75
ステージ移動量 15mm
モータ 5相ステッピングモータ
分解能 0.05μm/パルス
位置決め精度※ 6μm
繰り返し精度※ ±0.5μm
定格 電源電圧 AC100～240V　50/60Hz
消費電力 70VA
耐環境性 使用周囲温度 ＋5～40℃
使用周囲湿度 35～80％RH（結露なきこと）
質量 コントローラ部：3kg　電動ステージ部：1.3kg
積載荷重 5kg
※ 電動ステージ単体の代表値。
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