【新商品情報】 “面光電”センサ「AIシリーズ」誕生! 面で検出し、絵で捉える。だから、ズレてもOK、判別も可能。詳細は こちら

超深度マルチアングルレンズ

超深度マルチアングルレンズ VHX-D510

仕様

型式VHX-D510
種類ヘッド
超深度レンズレンズ方式電子式超深度レンズ
倍率傾斜観察時 30~約2000倍、垂直観察時 30~約5000倍
観察像2次電子像
観察モード基本モード/絶縁体モード/高解像度モード※1
加速電圧0.9kV/1.2kV/5kV※1
電子銃タングステンWヘアピン・プリセンタードカートリッジ式
表示分解能1600(H)×1200(V)
自動調整機能オートフォーカス、オート明るさ調整、自動追従型明るさ調整
メンテナンス機能消耗品交換時の自動補正機能付き
マイクロスコープレンズレンズ方式光学式ズームレンズ
倍率50~500倍
観察像光学画像
試料ステージ方式5軸ユーセントリック式
試料サイズ全面観察 φ100mm  試料室 200mm×200mm 試料高さ30mm
X軸約±15mm
Y軸約±15mm
Z軸30mmストローク
T軸(傾斜軸)最大傾斜90°レンズ傾斜ユーセントリック方式
θ軸(回転軸)360°視野中心回転方式
電源 電源電圧AC100V±10% 50/60Hz
消費電力1200VA以下
耐環境性温度+10~35℃
湿度70%RH以下 (結露なきこと)
浮遊磁場交流0.3μT(p-p)以下
床振動1.5x10-3m/S2以下 (5Hz以下は、3μm(p-p)以下)
寸法幅486mm×高545mm×奥600mm (突起部含む)
質量約39kg
※1高解像度モード(加速電圧5kV)は、オプション設定です。

 

外形寸法図

単位:mm

外形寸法図_VHX-D510

他の商品シリーズ