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形状測定レーザマイクロスコープ VK-8700/9700 GenerationII
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ここまでできる。豊富な3次元計測 |
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プロファイル計測 |
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| 画像上に任意で引いた直線・曲線の断面プロファイルに対して、「高さ」「幅」「断面積」「形状角度」「R」などが計測できます。 |
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| 画像上で計測ポイントを確認できるため、微細な箇所でも簡単・高精度に計測結果が得られます。 |
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| NEW | 平均プロファイル機能 |
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| 形状、粗さ計測をする際、計測線の太さ等を設定できます。 平均的な形状にて測定できるので、測定箇所によるばらつきなく解析できます。 |
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高さ・幅・断面積計測 |
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| 基板段差（×1000） | レジストパターン（×3000） |
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粗さ計測 |
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| 画像上に任意で引いた直線・曲線の「線粗さ」または、任意で指定した領域の「面粗さ」が計測できます。 |
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| 従来の接触式粗さ計と比べ、“非接触で計測できる”“計測したい箇所を拡大観察画像上で選べる”“面粗さが計測できる”などの特徴があります。 1994JISおよび2001JIS粗さで定義されている各種パラメータで表面粗さ解析が可能です。 |
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線粗さ計測 |
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面粗さ計測 |
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| メッキ表面（×1000） | 建材（×1000） |
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3次元計測 |
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| 画像上に任意で指定した領域における対象物の「体積」「表面積」「面積：表面積率※」が計測できます。 |
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| ※面積：表面積率＝指定した領域の面積と対象物の表面形状によって生じている表面積の比率。 3次元計測機器ならではの解析を行なうことが可能です。 |
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体積計測 |
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表面積計測 |
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| 光学フィルム（×1000） | スクリーン印刷（×1000） |
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| 業界初 |
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比較計測 |
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| 2つの対象物の断面プロファイルを重ね合わせて表示し、幅・高さの差分や断面積の差分を計測できます。 |
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| 試験前後、経時変化、製造条件が異なる対象物などの比較評価が可能です。 |
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プロファイル比較計測 | ||
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| LEDパッド部（×1000） | ||
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