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形状測定レーザマイクロスコープ VK-8700/9700 GenerationII

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システム構成

形状測定レーザマイクロスコープ VK-8700/9700 GenerationII

オプション機器

形状測定レーザマイクロスコープ VK-8700/9700 GenerationII
NEW
VK用スタンド
顕微鏡背面部に高剛性の専用スタンドを取り付け、任意の高さにヘッド部を調整可能。ヘッド部と台座部にスペーサーを挿入することで、安定性が向上し、高精度測定を可能にします。
各種対物レンズ
形状測定レーザマイクロスコープ VK-8700/9700 GenerationII
高NAを誇るApoレンズをはじめ、長距離レンズから低倍率レンズまで、対象物に応じてご使用いただける幅広いバリエーションをご用意。
300mmウエハステージ
形状測定レーザマイクロスコープ VK-8700/9700 GenerationII
300mmウエハ上の全域が死角なく観察・解析できます。測定部にそのまま取り付けられます。
電動ステージ
形状測定レーザマイクロスコープ VK-8700/9700 GenerationII
画像の自動連結やティーチングに必要な電動ステージ。測定部にそのまま取り付けられます。
大型サンプルステージ
形状測定レーザマイクロスコープ VK-8700/9700 GenerationII
大型液晶基板、PDP基板などの大型対象物を非破壊で任意のポイントの観察・解析が可能になります。
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