透明体測定に“ 独自のアルゴリズム”を搭載 |
面膜厚測定機能 |
| 観察視野全域の複数層の解析が可能。選択した各層または複数層の 3D画像表示、断面プロファイル表示ができ、任意の箇所の形状・膜厚測定ができます。 対象物が透明体の場合、表面の焦点位置を
超えて透過光が裏面焦点位置も検出できるので、
それぞれの焦点位置の差(=透明体厚み)が
検出できます。 |
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| 透明体の最表面情報を取得する“最表面モード”の追加により、透明体のサンプルに対して、多彩な解析結果が得られるようになりました。 これにより、今まで表面を透過するため、測定が困難だった、サンプルでも測定が可能となります。 | ||
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| 従来 | VK-9700 | |
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