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形状測定レーザマイクロスコープ VK-8700/9700 GenerationII

仕様

型式	顕微鏡測定部	VK-8710				VK-9710
	コントローラ部	VK-8700				VK-9700
15型モニタ上倍率		200	400	1000	2000	200	400	1000	3000
対物レンズ倍率		10×	20×	50×	100×	10×	20×	50×	150×
観察測定範囲※1	横（H）：μm	1350	675	270	135	1350	675	270	90
	縦（V）：μm	1012	506	202	101	1012	506	202	67
作動距離：mm		16.5	3.1	0.54	0.3	16.5	3.1	0.35	0.2
開口数（N.A.）		0.3	0.46	0.8	0.95	0.3	0.46	0.95	0.95
観察・測定用光学系		ピンホールによる共焦点光学系				ピンホールによる共焦点光学系
高さ測定	測定範囲	7 mm				7 mm
	表示分解能	0.01μm				0.001μm
	繰り返し精度σ	0.03μm※2				0.014μm※2
幅測定	表示分解能	0.01μm				0.001μm
	繰り返し精度3σ	0.03μm※3				0.02μm※3
フレームメモリ	ピクセル数	2048×1536、1024×768				2048×1536、1024×768
	映像用（モノクロ）	14bit				14bit
	映像用（カラー）	RGB 各8bit				RGB 各8bit
	高さ測定用	20bit				24bit
光学ズーム		1x～6x				1x～6x
オート機能		AAG（オートゲイン）／オートフォーカス／RPD				AAG（オートゲイン）／オートフォーカス／RPD
測定用レーザ光源	波長	赤色レーザ 658nm				バイオレットレーザ 408nm
	最大出力	0.9mW				0.9mW
	クラス	クラス2（JIS C6802）				クラス2（JIS C6802）
受光素子		PMT（光電子増倍管）				PMT（光電子増倍管）
光学観察用光源	ランプ	100Wハロゲン				100Wハロゲン
光学観察用カラーカメラ	撮像素子	カラーCCDイメージセンサ				カラーCCDイメージセンサ
	オート調整	ゲイン、シャッタースピード				ゲイン、シャッタースピード
データ処理部		弊社指定専用PC （OS：WindowsXP Professional Edition）※4				弊社指定専用PC （OS：WindowsXP Professional Edition）※4
質量	顕微鏡測定部	約25Kg（分離時、測定部単体：約8.5Kg）				約26Kg（分離時、測定部単体：約10Kg）
	コントローラ部	約11kg				約11kg


※1	観察測定範囲は最小視野範囲となっています。
※2	対物レンズ50倍にて、標準段差2μmを測定する場合。
※3	対物レンズ150倍にて、弊社基準チャート線幅1μm部分をラインピーク（画像平均8回）にて測定した場合。
※4	WindowsXPは米国マイクロソフト社の登録商標です。