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形状測定レーザマイクロスコープ

300mmウエハ対応ステージ

300mmウエハ対応ステージ


OP-51498

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仕様

型式 OP-51498
移動範囲 X軸 160mm
Y軸 160mm
回転方向 360度
ハンドル1回転の
ストローク量
X軸 18mm
Y軸 36mm
耐荷量 1.0kg
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