形状測定レーザマイクロスコープ
VK-X100/X200シリーズ

仕様

型式	コントローラ部	VK−X200	VK−X100	VK−X100
型式	顕微鏡部	VK−X210	VK−X110	VK−X105
総合倍率		200×～24000×	200×～16000×	100×～8000×
観察・測定用光学系		ピンホールによる共焦点光学系
高さ測定	表示分解能	0.0005μm	0.005μm	0.005μm
フレームメモリ	ピクセル数	2048×1536、1024×768、1024×64
	映像用（モノクロ）	16bit
	映像用（カラー）	RGB 各8bit
	高さ測定用	24bit	21bit	21bit
フレームレート※2	面スキャン	4～120Hz
フレームレート※2	ラインスキャン	7900Hz	7900Hz	7900Hz
オート機能		オートゲイン/オートフォーカス/ オート上下限設定/ダブルスキャンの明るさ設定
測定用レーザ光源	波長	バイオレットレーザ 408nm	赤色半導体レーザ 658nm	赤色半導体レーザ 658nm
	最大出力	0.95mW
	クラス	クラス2（JIS C6802）
受光素子		PMT（光電子増倍管）
光学観察用光源	ランプ	100Wハロゲン
光学観察用カラーカメラ	撮像素子	1/3型カラーCCDイメージセンサ
	撮影解像度	超高精細［3072×2304］
	オート調整	ゲイン、シャッタースピード
データ処理部		弊社指定専用PC（OSはWindows7 Professional）※1
質量	測定部	約26kg （分離時ヘッド単体：約10kg）	約25kg （分離時ヘッド単体：約8.5kg）
質量	コントローラ部	約11kg