キーエンスが提案する新しいAFM |
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ナノ領域の解析が、誰でも簡単に行なえたら・・・というコンセプトで生まれた顕微鏡がVN-8000です。 デジタルマイクロスコープVHXシリーズで培った卓越した光学技術とAFMを融合することで、従来に無い全く新しい顕微鏡を作り出すことができました。 |
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| ニオブ蒸着膜(0.8×0.6μm) |
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| 形状測定例 |
3次元解析例 |
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| AFM(Atomic Force Microscope:原子間力顕微鏡)はSEM(電子顕微鏡)を超える高倍率領域を3次元で解析可能です。SEMでは断面カットする必要があったZ方向の高さをナノオーダで測定できます。 |
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AFMのスキャン領域指定は光学顕微鏡画面をマウスでドラッグするだけ。微小なポイントも狙いをはずさず観察できる、マイクロスコープ一体構造。 |
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操作手順が一目でわかる“eガイダンス”で、初めてでもすぐに観察・解析が可能。 |
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微小な振動を気にせず設置可能なB.F.M.構造※。 除振システム内蔵により省スペースを実現。 ※Base Floating Mechanism |
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光軸調整不要のセルフセンシング方式。 手ではめるだけのカンチレバー交換を実現。 |
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