観察はデジタルマイクロスコープ画像からスタート。
普段見慣れた光学画像上でマウスをドラッグするだけでAFMのスキャン範囲が決定できます。狙ったポイントをはずさない高精度な位置決めが可能なため、ストレスのない解析を行なえます。 |
従来型の位置決め方法 |
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| 従来は位置決め用の光学顕微鏡画像とAFM観察操作が連動していませんでした。探針とスキャン範囲の位置合わせは光学顕微鏡画像で確認するだけであり、微小な探針を観察箇所にピンポイントにセットすることは非常に困難でした。そのため狙ったデータを取得するまで、繰り返しデータ取りを行なう必要がありました。 |
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VNシリーズ |
従来汎用タイプ |
従来高機能タイプ |
| 光学レンズ |
可変倍率ズームレンズ |
固定倍率レンズ |
固定倍率レンズ |
| 画像 |
高精細CCD画像 |
目視 |
CCD画像 |
| XYZ移動 |
制御PCからの電動操作 |
手動操作 |
専用コンソール |
| スキャン位置 |
マウスでドラッグ |
探針を目視で確認 |
探針を目視で確認 |
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デジタルマイクロスコープとAFMの融合 |
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デジタルマイクロスコープ一体構造を実現。超高精細光学画像で観察できます。
観察のために必要な位置決め操作は全て電動で、観察者の意のままに制御できます。マイクロスコープVHXシリーズで培った光学技術を活用することで、“位置決めが難しい”という従来のAFMにおける最大の問題点を解決できました。 |
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高解像度ズームレンズ搭載 |
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| キーエンスオリジナルの高解像度ズームレンズ「RZレンズ」と高品位CCDカメラを搭載したデジタルマイクロスコープ一体構造。超高精細観察画像だから、AFMの微小な観察ポイントも逃さず位置決めできます。倍率は250倍から1250倍のワイドレンジを実現。広視野から観察をスタートできます。 |
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1μmライン&スペース
（1250倍） |
CCD素子
（1250倍） |
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位置決め・ズーム倍率をマウス操作で電動制御 |
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| 観察箇所の位置決めに必要な、XYZ移動、ズームレンズ倍率変更、光学画像の焦点・明るさ・絞りは全て電動で制御可能。アプリケーションソフトからマウスで全てをコントロールできます。観察者の意のままに操作ができ、スムーズにAFM観察へと導きます。 |
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AFM（Atomic Force Microscope）の原理 |
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| 極微小な探針が付いたカンチレバーで試料の表面を走査します。探針と試料の表面に原子間力が働くことで、試料表面の凹凸に応じてカンチレバーのたわみが発生します。カンチレバーのたわみ、すなわち原子間力が一定になるようにZ軸を制御し、この制御量を読み取ることで試料表面の3次元形状を得ます。 |
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