キーエンス独自のB.F.M.構造により、大がかりな除振台が不要になりシステムの小型化が実現しました。 周囲の環境を気にせず設置できるため、解析効率が飛躍的に向上します。 |
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※B.F.M.構造 Base Floating Mechanismの略。音や風の影響を防ぐために本体心臓部をシールドし、更に外部接触部に対し本体心臓部を浮かすことで、床振動を防ぐ構造。 (特許出願中) |
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ゲルダンパ |
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| 本体心臓部をささえる柱にはコイルスプリングをゲル状材質で包み込んだ防振部材を採用。外部からの振動を吸収します。 |
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B.F.M.構造採用で高品質を実現 |
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| 超高倍率領域の観察においては微小な振動が大きな影響を及ぼします。VN-8000では、B.F.M.構造という独自設計により、高い耐振性を有しました。除振台不要でそのまま机の上に置き、解析を行なえます。周囲の環境や設置スペースを気にすることなく「本来あるべき場所」に設置することが可能です。 |
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振動環境下におけるニオブの観察例(0.8×0.6μm) |
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| B.F.M.構造非採用 |
B.F.M.構造採用 |
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飛びデータを補正するラインエディット機能 |
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| キーエンス独自のアルゴリズムにより、突発的な振動ノイズがあった場合でも簡単に補正が可能です。前後のスキャンデータとのずれから、振動ノイズを自動検知し補正します。ずれ量はグラフ表示されるため視覚的に確認できます。 |
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