| 操作モード |
オート（フローチャートによるガイダンス）・マニュアル |
| 観察条件設定補助機能 |
観察条件の異なる画像を4枚連続自動取得
（取得条件変更可） |
| ナビゲーション機能※5 |
視野40mmの試料全景図（カラー）による |
| マルチウインドウ機能 |
観察位置表示・広域画像表示・比較画像表示 |
| 観察時自動調整機能 |
光軸・フォーカス・非点収差・コントラスト/明るさ・フルオート |
| 描画平均回数設定 |
1回～128回 |
| 高速描画機能 |
自動 |
| 画像補正機能 |
シャープネス・ハイライト除去・ガンマ補正 |
| 帯電除去機能 |
自動 |
| 分割表示機能 |
2分割（水平・垂直）・4分割 |
| コメント機能 |
文字・記号の観察像内追記 |
| メモ機能 |
全角256文字まで画像ファイル内に保存 |
| 自動レポート作成機能 |
表計算ソフトへの観察像・観察条件自動出力 |
| 観察条件登録機能 |
自動 |
| 計測機能※6 |
2点間・半径・直径・円中心間距離・角度・垂線距離・
平行線間距離・カウント・XY同時計測・面積・自動計測 |
| 3D観察機能 |
回転・傾斜・ズーム |
| 3D構築補助機能 |
ナビゲーションによる観察視野指示 |
| 3D計測機能※7 |
試料任意区間プロファイル計測・高さカラー表示・
2画面比較・照明シミュレーション |
| 元素分析機能※8 |
定性・定量・マッピング |
| メンテナンス時自動調整機能 |
エミッション電流設定・光軸補正メモリ・非点収差補正メモリ |
| 操作ガイド表示 |
試料交換・観察テクニック・加速電圧調整・
非点収差調整・スポット径調整・メンテナンス |
