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3Dリアルサーフェスビュー顕微鏡　VE-9800

システム構成

仕様

基本仕様

型式		VE-9800
倍率		15～100000倍※1
観察範囲		9（H）×7（V）mm～1.3（H）×1（V）μｍ
分解能		8nm
観察像		2次電子像・反射電子像※2
観察モード		高真空・低真空（3～260Pa）※3
表示分解能	観察時	640（H）×480（V）
	撮影時	1280（H）×960（V）
フレームレート		4.5F/S（観察時）
画像保存形式	2D像	TIFFなど
	3D像	TIFF・EXE（再生機能付き）・AVI（動画）など
加速電圧		0.5～20kV
電子銃		タングステンヘアピン・アジャストメントフリーカートリッジ式
最大試料サイズ		φ64mm
試料ステージ		5軸（X・Y・Z・回転・傾斜）ユーセントリック式（X・Y・傾斜軸電動）
		X：32mm・Y：32mm・Z：8～30mm・回転：360°・傾斜：－10～＋90°
試料室内確認機能		カラーカメラ
制御部		専用ワークステーションOS：Windows XP Professional SP2※4
電源	電源電圧	AC100V±10％　50/60Hz
	消費電力	1500VA以下
耐環境性	使用周囲温度	＋15～＋30℃
	使用周囲湿度	70％以下（結露なきこと）
外形寸法	本体	幅395×高さ975×奥行670mm
	外部ポンプ	幅500×高さ365×奥行170mm
質量	本体	約125kg
	外部ポンプ	約27kg


※1	最小・最大観察倍率は、観察モード・対象物により変わります。
※2	ロビンソン検出器による反射電子像観察機能はオプション設定です。
※3	低真空観察モードはオプション設定です。
※4	Windows XP は米国マイクロソフト社の登録商標です。

ソフトウェア部

操作モード	オート（フローチャートによるガイダンス）・マニュアル
観察条件設定補助機能	観察条件の異なる画像を4枚連続自動取得（取得条件変更可）
ナビゲーション機能	視野40mmの試料全景図（カラー）による
マルチウインドウ機能	観察位置表示・広域画像表示・比較画像表示
観察時自動調整機能	光軸・フォーカス・非点収差・コントラスト/明るさ・フルオート
描画平均回数設定	1回～128回
高速描画機能	自動
リアルタイム画像補正機能	シャープネス・ハイライト除去・ガンマ補正
帯電除去機能	自動
分割表示機能	2分割（水平・垂直）・4分割
コメント機能	文字・記号の観察像内追記
メモ機能	全角256文字まで画像ファイル内に保存
保存画像改善機能	明るさ・コントラスト・ノイズ除去
自動レポート作成機能	表計算ソフトへの観察像・観察条件自動出力
観察条件登録機能	自動
計測機能※5	2点間・半径・直径・円中心間距離・角度・垂線距離・平行線間距離・カウント・XY同時計測・面積・自動計測
3D観察機能	回転・傾斜・ズーム・ワイドビュー（2D広視野表示）・照明シミュレーション
3D構築補助機能	ナビゲーションによる観察視野指示
3D計測機能※6	試料任意区間プロファイル計測・高さカラー表示・2画面比較
元素分析機能※7	定性・定量・マッピング
メンテナンス時自動調整機能	エミッション電流設定・光軸補正メモリ・非点収差補正メモリ
操作ガイド表示	試料交換・観察テクニック・加速電圧調整・非点収差調整・スポット径調整・メンテナンス


※5	計測機能はオプション設定です。
※6	3D計測機能はオプション設定です。
※7	元素分析機能はオプション設定です。