ココが知りたい! 形状測定

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表面粗さの代表的なパラメータ

パラメータとは

表面粗さは測定する内容に応じて異なる計算式を持っており、それらをパラメータと呼びます。ここでは、代表的なパラメータをいくつかご紹介します。

表面粗さ:Raとは

「算術平均粗さ」と呼ばれる高さ方向のパラメーター。
輪郭曲線が粗さ曲線の場合は、従来からの用語である「算術平均粗さ(Ra)」と呼び、輪郭曲線がうねり曲線の場合は、「算術平均うねり(Wa)」と呼びます。
粗さ計で測定した粗さ曲線の一部を基準長さで抜き出し、その区間の凹凸状態を平均値で表します。

輪郭曲線の算術平均粗さ(粗さ曲線の例) *Zaとは、Ra・Pa・Waのことです。

算術平均粗さは平均値を用いるため、1つの突出したキズの影響を受けにくく、表面粗さを評価するうえで安定した結果を得られます。

表面粗さ:Rzとは

「最大高さ」と呼ばれる高さ方向のパラメーター。
粗さ計で測定した粗さ曲線の一部を基準長さで抜き出し、もっとも高い部分(最大山高さ:Rp)ともっとも深い部分(最大谷深さ:Rv)の和の値で求めます。

輪郭曲線の最大高さ(粗さ曲線の例) *Zzとは、Rz・Pz・Wzのことです。

突出したキズの有無を確認するなど、前述の「算術平均粗さ(Ra)」と合わせて品質安定の指標になります。

表面粗さ:Rmsとは

要素の平均長さ(ZSm)は、基準長さに輪郭曲線要素の長さの平均を表したものです。Xsiは、一つの輪郭線要素に対応する長さです。この場合の輪郭要素 を構成する山(谷)には、最低高さと最低長さの規定が有り、高さ(深さ)が最大高さの10%以下、もしくは長さが計算区間の長さの1%以下であるものはノ イズとみなされて、前後に続く谷(山)の一部と認識します。

輪郭線要素の長さ(粗さ曲線の例) *ZSmとは、RSm・PSm・WSmのことです。

その他より多くのパラメーラについて知りたい場合は。
こちらのサイトをご覧ください。
http://www.keyence.co.jp/microscope/special/arasa/line/

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