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顕微鏡を知る

顕微鏡の歴史

電子顕微鏡の開発

 19世紀末にX線や電子が続けて発見され、1920年代後半には電子レンズの理論がまとめられたことで、可視光よりも波長の短いこれらを光源としたより分解能の高い顕微鏡の開発が20世紀初頭から行われるようになりました。電子線を用いた顕微鏡、透過型電子顕微鏡(TEM)は1930年代前半にドイツのエルンスト・ルスカによって発明され、1939年にシーメンス社により商用開発されました。電子線を走査する走査型電子顕微鏡(SEM)はTEMと同じ頃に開発が始まり、1930年代後半に走査透過型電子顕微鏡(STEM)がマンフレート・アルデンヌによって、1940年代前半に現在のSEMの原型がウラジミール・ツヴォルキンによって開発されました。しかし、このツヴォルキンのSEMは解像度が低く、SEMの発展は1950年代のケンブリッジ大学のチャールズ・オートレー研究室での研究を経て進み、1965年にケンブリッジインスツルメント社が商品化しました。

 電子顕微鏡の開発により、光学顕微鏡の限界を超えて分解能が格段に向上したことで、原子などを観察することが可能になったのです。

 電子顕微鏡はその後も分解能の向上だけでなく、試料室を低真空状態にして水分を含んだ試料を観察できるような環境制御型(低真空)電子顕微鏡などの改良開発が行われています。

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