内接歯車は固定した状態で測定するわけではないので、ノギスや隙間ゲージのような接触する測定器では測ることができません。
投影機か測定顕微鏡で測定するしかありませんが、XYステージを「速く」動かすと歯車がずれるので慎重に操作するので時間がかかってしまいます・・・。