ステージを移動させることで、最大100×100ｍｍの大きさまで測定が可能。
カメラの視野範囲を超えた大型サンプルまでも測定でき、
観察・測定がマイクロスコープ１台で行なえます。
ＸＹ測定システムを使えば、国家標準につながるトレーサビリティ体系に基づいた、
信頼性の高い測定が可能です。
| 型式 | VH-M100 | |
|---|---|---|
| ステージ移動量 | XY各方向100mm | |
| 表示分解能 | 0.1μm | |
| 移動精度 | 4＋0.02L(μm)※ | |
| 定格 | 電源電圧 | AC100～240V 50/60Hz |
| 消費電力 | 50VA | |
| 耐環境性 | 使用周囲温度 | ＋5～40℃ |
| 使用周囲湿度 | 35～80%RH（結露なきこと） | |
| 質量 | 18kg | |
| 積載荷重 | 3kg | |
※Lは移動距離（mm）
