XY測定ステージ 3D形状自動測定ユニット フリーアングル観察システム 耐振・高倍率観察システム
- 高精度リニアステージと新開発形状測定機能で拡大観察から3Ｄ形状自動測定までを一体化。
ステージ操作・拡大観察・3次元測定と3D解析から画像保存まで、全ての作業がVHX本体で行なえます。
拡大観察から一歩踏み込んだ解析を実現します。 
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型式 VHX-S15シリーズ ステージ移動量 15mm モータ 5相ステッピングモータ 分解能 0.05μm/パルス 位置決め精度※ 6μm 繰り返し精度※ ±0.5μm 定格 電源電圧 AC100～240V 50/60Hz 消費電力 70VA 耐環境性 使用周囲温度 ＋5～40℃ 使用周囲湿度 35～80%RH（結露なきこと） 質量 VHX-S15C：3kg・VHX-S15F：3.2kg・VHX-S15Ｈ：1.3kg 積載荷重 5kg - ※電動ステージ単体の代表値
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レンズの移動量をダイレクトに測定するジタルインジケータで、キャリブレーションが簡単にできます。
