ヘッド HM-1200
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仕様
型式 | HM-1200 | |||
種類 | ヘッド | |||
測定領域 XYZ | 200 mm×200 mm×30 mm(100 mm *1) | |||
測定精度 | 平面*2: ± 2 µm*3 | |||
スポット径 | 約ø200 µm | |||
光源 | 測定用光源 | 赤外SLD 中心波長820 nm | ||
ガイド用光源 | 赤色半導体LD 655 nm | |||
外部リモート入力(測定開始) | 無電圧入力(有接点/無接点) | |||
外部出力 | OK/NG/FAIL/MEAS. | PhotoMOS 出力 | ||
インターフェース | LAN | RJ45(1000BASE-T/100BASE-TX/10BASE-T) | ||
USB2.0シリーズA | 6 系統(正面2、背面4 系統) | |||
記録 | ハードディスクドライブ | 500 GB | ||
表示分解能 | 0.3 µm | |||
モニタ出力 | 16:9 Full HD (VGA、DVI) | |||
電源 | 電源電圧 | 100 ~ 240 VAC 50/60 Hz | ||
消費電流 | 430 VA 以下 | |||
耐環境性 | 使用周囲温度 | 10 ~ 35℃ | ||
保存温度 | −5 ~ 45℃ | |||
使用周囲湿度 | 20 ~ 80% RH(結露無きこと) | |||
質量 | 約30 kg | |||
*1 一度に測定できる段差は30 mm。ステージ面を0 mmとして、100 mm の高さまで測定可能。 |