小型・超高精度センサヘッド 小スポット LK-G10
仕様
型式 | LK-G10 | |||
基準距離 | 10 mm | |||
測定範囲 | ±1 mm*1 | |||
光源 | 種類 | 赤色半導体レーザ | ||
波長 | 655 nm (可視光)、クラス1 レーザ製品 (JIS C6802) | |||
出力 | 最大 0.3 mW | |||
スポット径 (基準距離にて) | 約 ø20 µm | |||
直線性 | ±0.03 % of F.S. (F.S.=±1 mm)*2 | |||
繰り返し精度 | 0.02 µm (0.01 µm)*3 | |||
サンプリング周期 | 20・50・100・200・500・1,000 µs (6 段階可変) | |||
LED表示 | 測定中心付近:緑点灯、測定範囲内:橙点灯、測定範囲外:橙点滅 | |||
温度特性 | 0.01 % of F.S./℃ (F.S.=±1 mm) | |||
耐環境性 | 保護構造 | IP67 (IEC60529) | ||
使用周囲照度 | 白熱ランプ/蛍光灯:10,000 lux 以下 | |||
使用周囲温度 | 0 ~ +50 ℃ | |||
使用周囲湿度 | 35 ~ 85 % RH (結露しないこと) | |||
耐振動 | 10 ~ 55 Hz、複振幅 1.5 mm、X,Y,Z 各方向 2 時間 | |||
質量 | 約 190 g (コード含む) | |||
*1 サンプリング周期 20 µs 時の測定範囲:+0.37 mm (FAR 側) ~ -1 mm (NEAR 側) |