小型・超高精度センサヘッド 小スポット LK-G10


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LK-G10 - 小型・超高精度センサヘッド 小スポット

仕様

型式

LK-G10

基準距離

10 mm

測定範囲

±1 mm*1

光源

種類

赤色半導体レーザ

波長

655 nm (可視光)、クラス1 レーザ製品 (JIS C6802)

出力

最大 0.3 mW

スポット径 (基準距離にて)

約 ø20 µm

直線性

±0.03 % of F.S. (F.S.=±1 mm)*2

繰り返し精度

0.02 µm (0.01 µm)*3

サンプリング周期

20・50・100・200・500・1,000 µs (6 段階可変)

LED表示

測定中心付近:緑点灯、測定範囲内:橙点灯、測定範囲外:橙点滅

温度特性

0.01 % of F.S./℃ (F.S.=±1 mm)

耐環境性

保護構造

IP67 (IEC60529)

使用周囲照度

白熱ランプ/蛍光灯:10,000 lux 以下

使用周囲温度

0 ~ +50 ℃

使用周囲湿度

35 ~ 85 % RH (結露しないこと)

耐振動

10 ~ 55 Hz、複振幅 1.5 mm、X,Y,Z 各方向 2 時間

質量

約 190 g (コード含む)

*1 サンプリング周期 20 µs 時の測定範囲:+0.37 mm (FAR 側) ~ -1 mm (NEAR 側)
*2 弊社標準対象物 (セラミック) を標準モードにて測定した場合の値。
*3 弊社標準対象物 (SUS) を基準距離にて平均回数 4,096 回で測定した場合の値。 () 内は平均回数 16,384 回で測定した場合の代表例。