仕様 分光干渉変位タイプ 多層膜厚測定器 SI-T シリーズ
コントローラ部
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型式 |
SI-T1000V |
SI-TA100 |
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画像 |
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種類 |
メインコントローラ 一体型 |
増設コントローラ*4 |
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分離型 |
SI-T1000/SI-TD500 |
SI-TA100 |
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分光ユニット接続台数 |
2台 |
1台 |
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表示 |
最小表示単位 |
0.001µm |
なし |
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表示範囲 |
±999.999µm ～ ±9999.99mm (7段階選択可能) |
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表示周期 |
10回/秒 |
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端子台 |
レーザリモートインターロック入力 |
無電圧入力*1 |
なし*1 |
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タイミング1入力 |
無電圧入力2*1 |
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リセット1入力 |
無電圧入力*1 |
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オートゼロ1入力 |
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レーザコントロール入力 |
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アナログ電圧出力 |
±10V ×2出力 , 出力インピーダンス 100Ω*1 |
±10V ×1出力 , 出力インピーダンス 100Ω*1 |
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アナログ電流出力 |
4 ～ 20mA ×2出力 , 最大負荷抵抗 350Ω*1 |
4 ～ 20mA ×1出力 , 最大負荷抵抗 350Ω*1 |
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アラーム出力 |
NPNオープンコレクタ出力 (N.C.)*1 |
なし*1 |
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総合判定出力 |
NPNオープンコレクタ出力*1 |
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拡張コネクタ |
タイミング入力 |
無電圧入力2*1 |
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リセット入力 |
無電圧入力*1 |
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オートゼロ入力 |
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プログラム切換入力 |
無電圧入力 ×3入力*1 |
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アラーム出力 |
NPNオープンコレクタ出力 (N.C.)*1 |
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判定・バイナリ 出力 |
バイナリ出力 |
測定値データ出力 (21bit) , OUT選択 |
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ストローブ出力 |
NPNオープンコレクタ出力*1 |
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バイナリ選択出力 |
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バイナリ選択入力 |
無電圧入力*1 |
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RS-232Cインターフェース |
測定データ出力および制御入出力 (ボーレート 115,200 bit/s まで選択可) |
なし |
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USBインターフェース |
USB2.0 HI-SPEED 対応 (USB1.1 Full-SPEED 互換) |
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Ethernetインターフェース |
100Base‒TX/10Base‒T |
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主な機能 |
測定面設定・測定面間演算機能、層数チェック機能、光量積算機能、 振れ自動補正機能、12OUT同時測定機能、 |
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定格 |
電源電圧 |
DC 24 V ±10 %、リップル (P-P) 10 % 以下 |
メインコントローラから供給 |
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消費電流 |
ヘッド 1 台接続時：0.6 A 以下、ヘッド 6 台接続時：1.5 A 以下 |
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耐環境性 |
使用周囲温度 |
0 ～ +50 ℃*2 |
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使用周囲湿度 |
35 ～ 85 % RH (結露しないこと) |
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耐振動 |
10 ～ 55 Hz、複振幅 0.5 mm、X,Y,Z 各方向 2 時間*3 |
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質量 |
約 600 g |
約 300 g |
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*1 NPNオープンコレクタ出力定格 最大50mA(40V以下)、残留電圧0.5V以下。無電圧入力定格 ON電圧 1V以下、OFF電流0.6mA以下。本機の各入出力回路間は、一部内部共通になっています。配線や外部機器間の電位差によって内部共通の端子間に電位差を生じないようにしてください。 |
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ヘッド部
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型式 |
SI-T10 |
SI-T80 |
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画像 |
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種類 |
多層変位測定タイプ センサヘッド |
長距離厚み測定タイプ センサヘッド |
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分光ユニット |
SI-T10U |
SI-T80U |
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測定範囲 (屈折率n=1) |
0.01 ～ 1.0mm |
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基準距離 |
9mm*1 |
80mm*1 |
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測定用光源 |
赤外SLD , 出力1mW , レーザクラス1 (JIS C6802) |
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スポット径 |
ø30µm*2 |
ø25µm*2 |
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直線性 |
±0.3µm*3 |
±0.3µm*6 |
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分解能 |
0.01µm (0.25µm)*4*5 |
0.01µm*5 |
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サンプリング周期 |
1ms |
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LED表示 |
測定中心付近 : 緑点灯/測定範囲内 : 橙点灯/測定範囲外 : 橙点滅 |
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耐環境性 |
保護構造 |
IP64 |
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使用周囲照度 |
白熱ランプ/蛍光灯：10,000 lux 以下 |
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使用周囲温度 |
0 ～ +40 ℃ |
0 ～ +50 ℃ |
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使用周囲湿度 |
35 ～ 85 % RH (結露しないこと) |
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耐振動 |
10 ～ 55 Hz、複振幅 1.5 mm、X,Y,Z 各方向 2 時間 |
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材質 |
SUS304 |
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質量 |
約 70 g (コード含む) |
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*1 センサヘッド前面からの距離をあらわしています。最大±0.2mmの個体差があります。 |
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専用PCソフト
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型式 |
SI-H1T*1 |
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画像 |
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種類 |
SI-Tシリーズ用設定支援ソフトウェア |
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対応OS |
Windows 11 Pro |
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CPU |
Pentium III 1GHz以上 (1.7GHz以上を推奨) |
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メモリ容量 |
256MB以上 (1GB以上を推奨) |
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ハードディスク空き容量 |
1GB |
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ディスプレイ |
1024×768ピクセル、24bit フルカラー以上 |
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PC インターフェース |
以下のいずれかのインターフェースを搭載していること |
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*1 お使いのOSが推奨する環境以上の環境で使用してください。 |
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