センサヘッド ウェハ厚み測定タイプ SI-F80R
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仕様
型式 | SI-F80R*1 | |||
種類 | ウェハ厚み測定タイプ センサヘッド | |||
分光ユニット | SI-F80RU | |||
測定範囲 | 10 ～ 310µm (n=3.5 のとき)*2 | |||
検出可能距離 | 80 ～ 81.1mm | |||
測定用光源 | 赤外SLD 出力0.6mW レーザクラス1 (JIS C6802) | |||
スポット径 | ø25µm*3 | |||
直線性 | ±0.1µm (n=3.5 のとき)*4 | |||
分解能 | 0.001µm*5 | |||
サンプリング周期 | 200µs | |||
LED表示 | 測定中心付近 : 緑点灯/測定範囲内 : 橙点灯/測定範囲外 : 橙点滅 | |||
耐環境性 | 保護構造 | IP64 | ||
使用周囲照度 | 白熱ランプ/蛍光灯：10,000 lux 以下 | |||
使用周囲温度 | 0 ～ +50 ℃ | |||
使用周囲湿度 | 35 ～ 85 % RH (結露しないこと) | |||
耐振動 | 10 ～ 55 Hz、複振幅 1.5 mm、X,Y,Z 各方向 2 時間 | |||
材質 | SUS | |||
質量 | 約 70 g (コード含む) | |||
*1 この商品は、外国為替および外国貿易法の規定により輸出規制に該当します。 | ||||