Z軸電動ステージ VHX-S600F

型式

VHX-S600F

ステージZ軸

Zステージ 電動/手動

電動

Z自動ステージ モータ

5相ステッピングモーター

Z自動ステージ 移動速度

17mm/sec(max)

Zステージ 移動量

49mm

Zステージ

Z自動ステージ分解能

0.1µm(typ.)

電源

電源電圧

DC 12V

消費電力

2.4A

耐環境性

使用周囲温度

+5 ～ +40 ℃

使用周囲湿度

35 ～ 80 % RH (結露しないこと)

質量

約 3.1 kg