大型フリーアングル観察システム （XYZ電動ステージ） VHX-S770
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仕様
型式 | VHX-S770 | |||
XYθステージ | XYステージ 電動/手動 | 電動 | ||
XY自動ステージ モータ | 2相ステッピングモータ | |||
XY自動ステージ 分解能 | 1 µm (typ) | |||
XY自動ステージ 移動速度 | 20 mm/sec (max) | |||
XYステージ 移動量 | ±50 mm | |||
θ回転角 | ─ | |||
XYθステージサイズ | 上面233 mm × 185 mm (中央円板 ø168) | |||
透過照明観察対応倍率 | 20 倍以上 | |||
フォーカスZ軸 | Zステージ 電動/手動 | 電動 | ||
Z自動ステージ モータ | 5相ステッピングモータ | |||
Z自動ステージ 分解能 | 0.1 µm (typ.) | |||
Z自動ステージ 移動速度 | 17 mm/sec (max) | |||
Zステージ 移動量 | 49 mm | |||
ステージZ軸 | Zステージ 電動/手動 | 電動 | ||
Z自動ステージ モータ | 2相ステッピングモータ | |||
Z自動ステージ 分解能 | 1 µm (typ) | |||
Z自動ステージ 移動速度 | 10 mm/sec (max) | |||
Zステージ 移動量 | 50 mm | |||
サイドカメラ | あり・VGA | |||
積載荷重 | 5 kg | |||
定格 | 電源電圧 | AC100 ～ 240 V ±10 ％ 50/60 Hz | ||
消費電流 | 130 VA | |||
耐環境性 | 使用周囲温度 | +5 ～ 40 ℃ | ||
使用周囲湿度 | 20 ～ 80％ RH（結露なきこと） | |||
質量 | 25.3 kg | |||