形状測定レーザマイクロスコープ VK-8700/9700 GenerationII シリーズ

電動X-Yステージ VK-S105

こちらの商品は、生産終了となりました。以下の推奨代替機種をご覧ください。

ご不明点は、お電話でもお伺いいたします。(フリーダイヤル:0120-122-134 お気軽にお問い合わせください)

規格認証への適合状況は、当社からの出荷日時点の情報となります。

推奨代替機種

  • VK-X3000 シリーズ

    レーザー共焦点・白色干渉・フォーカスバリエーションの3つの異なるスキャン原理を使い分け、さまざまな対象物を高精度に測定・解析することができます。

    VK-X3000 シリーズ - 白色干渉計搭載 レーザ顕微鏡

写真は使用イメージを表現していることがあります。商品には含まれない場合がありますのでご注意ください。
VK-S105 - 電動X-Yステージ

仕様

型式

VK-S105

移動方向

X・Y軸

ストローク

50×50 mm

テーブルサイズ

100×100 mm

ガイド方法

クロスローラガイド

フィード方法

精密ポールネジ、リード1 mm

軸変換慣性

X軸 9.29×10-7kg・m2、 Y軸 9.62×10-7kg・m2

モータ

0.35A/相、5相ステッピングモータ
5線ペンタゴン結線、保持トルク:0.017N・m、
ロータ慣性:4.2g・cm2

分解度

1 µm

位置決め精度

10 µm

繰り返し位置決め精度

±1 µm

跳ね返り

1 µm

ロストモーション

3 µm

直観性 (垂直・水平)

5 µm

平行性A

X:10 µm、Y:10 µm

XY直角度

10 µm

耐加重

3 kg

主材料・概観

アルミニウム合金・ブラックアルマイト仕上げ

質量

2.5 kg