仕様 流量・圧力デュアルセンサ FD-EP シリーズ

型式

FD-EPH4

FD-EPH5

FD-EPH6

FD-EPH7

FD-EPH8

画像

対応口径

配管外径

ø4 ^*1

3/16"
（約4.76 mm） ^*1

ø6 ^*1

1/4"
（約6.35 mm） ^*1

ø8 ^*1

適合外径範囲

ポリウレタン

4.0±0.1 mm

4.76±0.15 mm

6.0±0.1 mm

6.35±0.15 mm

8.0±0.1 mm

ナイロン

4.0±0.08 mm

4.76±0.1 mm

6.0±0.08 mm

6.35±0.1 mm

8.0±0.08 mm

配管材質

ワンタッチ継手に接続可能な樹脂配管

対応流体

空気、窒素、アルゴン、非腐食性ガス^*2

対応流体温度

−10～+60°C

耐圧力

1 MPa

流量検出原理

超音波 伝搬時間差方式

流量仕様

定格流量

(体積流量)

25 L/min

30 L/min

60 L/min

100 L/min

(20℃、大気圧換算) ※初期表示

気体が20℃、0.0 MPaの場合

気体が20℃、0.2 MPaの場合

75 L/min

90 L/min

180 L/min

300 L/min

気体が20℃、0.4 MPaの場合

125 L/min

150 L/min

300 L/min

500 L/min

気体が20℃、0.6 MPaの場合

175 L/min

210 L/min

420 L/min

700 L/min

測定精度

±(2.0% of RD + 1.0% of F.S.) ^*3*4

繰り返し精度

応答時間250 ms時±2.5％ of F.S.^*3*5

圧力仕様

定格圧力

−100 kPa～+0.75 MPa ※ただし、−100～−50 kPaの範囲は、流量計測できません

総合精度

±2.0% of F.S. ^*3

繰り返し精度

応答時間 2.5 ms：±0.4％ of F.S.

表示分解能

瞬時流量

0.01/0.1 L/min

積算流量

0.01/0.1/1/10/100 L

圧力

0.1/1 kPa

耐環境性

保護構造

IP65（IEC60529）

使用周囲温度

−10～+60°C（氷結しないこと）

使用周囲湿度

35％～85％RH（結露しないこと）

耐振動

10～500 Hz パワースペクトル密度：0.816 G²/Hz X,Y,Z方向

耐衝撃

100 m/s² 16 msパルス X,Y,Z 各方向1000回

材質

センサ本体（流体接触しない部分）

PBT／PAR／鉄／真鍮／POM／NBR／ステンレス／アルミ

PBT／PAR／鉄／真鍮／POM／NBR／ステンレス

PBT／PAR／鉄／真鍮／POM／NBR／ステンレス／アルミ

PBT／PAR／鉄／真鍮／POM／NBR／ステンレス

PBT／PAR／鉄／真鍮／POM／NBR／ステンレス／アルミ

流路（流体接触する部分）

PBT／真鍮／NBR／ナイロン

質量

約127 g

約128 g

約127 g

約129 g

約145 g

型式

FD-EPH9

FD-EPH10

FD-EPH12

FD-EPH13

画像

対応口径

配管外径

3/8"
（約9.53 mm） ^*1

ø10 ^*1

ø12 ^*1

1/2"
（約12.7 mm） ^*1

適合外径範囲

ポリウレタン

9.53±0.15 mm

10.0±0.15 mm

12.0±0.15 mm

12.7±0.15 mm

ナイロン

9.53±0.1 mm

10.0±0.08 mm

12.0±0.1 mm

12.7±0.1 mm

配管材質

ワンタッチ継手に接続可能な樹脂配管

対応流体

空気、窒素、アルゴン、非腐食性ガス^*2

対応流体温度

−10～+60°C

耐圧力

1 MPa

流量検出原理

超音波 伝搬時間差方式

流量仕様

定格流量

(体積流量)

150 L/min

250 L/min

(20℃、大気圧換算) ※初期表示

気体が20℃、0.0 MPaの場合

気体が20℃、0.2 MPaの場合

450 L/min

750 L/min

気体が20℃、0.4 MPaの場合

750 L/min

1250 L/min

気体が20℃、0.6 MPaの場合

1050 L/min

1750 L/min

測定精度

±(2.0% of RD + 1.0% of F.S.) ^*3*4

繰り返し精度

応答時間250 ms時±2.5％ of F.S.^*3*5

圧力仕様

定格圧力

−100 kPa～+0.75 MPa ※ただし、−100～−30 kPaの範囲は、流量計測できません

総合精度

±2.0% of F.S. ^*3

繰り返し精度

応答時間 2.5 ms：±0.4％ of F.S.

表示分解能

瞬時流量

0.1/1 L/min

積算流量

0.1/1/10/100/1000 L

圧力

0.1/1 kPa

耐環境性

保護構造

IP65（IEC60529）

使用周囲温度

−10～+60°C（氷結しないこと）

使用周囲湿度

35％～85％RH（結露しないこと）

耐振動

10～500 Hz パワースペクトル密度：0.816 G²/Hz X,Y,Z方向

耐衝撃

100 m/s² 16 msパルス X,Y,Z 各方向1000回

材質

センサ本体（流体接触しない部分）

PBT／PAR／鉄／真鍮／POM／NBR／ステンレス

PBT／PAR／鉄／真鍮／POM／NBR／ステンレス／アルミ

PBT／PAR／鉄／真鍮／POM／NBR／ステンレス

流路（流体接触する部分）

PBT／真鍮／NBR／ナイロン

質量

約193 g

約180 g

約201 g

約208 g

型式

FD-EPA1

FD-EPA1C

FD-EPA0

画像

タイプ

ケーブルタイプ

M12コネクタタイプ^*5

ゼロラインタイプ^*6

制御出力数

3

─ ^*7

アナログ出力数

1

─

外部入力数

2

─ ^*7

電源ケーブル

2 m バラ線 8芯

ピッグテール 100 mm 末端M12、8ピン

ケーブルなし

応答時間 (90%応答)

流量

50 ms/100 ms/250 ms/1 s/5 s（選択可、初期値250 ms）^*1

圧力

2.5 ms/10 ms/50 ms/100 ms/250 ms/1 s/5 s（選択可、初期値2.5 ms）^*1

入出力

制御出力1、2、3

瞬時流量／積算流量／圧力／警報出力／予知保全出力／着座（出力1のみ）／パルス出力 NPN/PNP設定切換 3出力合計100 mA以下 残留電圧2.5 V以下

アナログ出力

瞬時流量／圧力 4-20/0-20 mA（切換可） 負荷抵抗260 Ω以下

外部入力1、2

流量ゼロ/流量ゼロ点調整/大気圧補正/圧力ゼロシフト/積算リセット/アプリラーニング/アプリリセット 短絡電流：1.5 mA以下

ネットワーク対応

IO-Link^*2

NUシリーズ対応

増設台数

─

親機NU1台に対して、本機8台、
親機FS-MC8N/P 1台に対して、本機4台 ^*6

保護回路

電源逆接保護、出力過電流保護、出力サージ保護、出力逆接保護、ヘッドケーブル誤配線保護

ヘッドケーブル誤配線保護

電源

電源電圧

DC24 V+20％/−10％（リップル含む）、Class2/LPS

DC24 V±10％（リップル含む）、Class2/LPS

消費電力

1870 mW 負荷電流除く ^*3*4

1400 mW 負荷電流除く ^*4

耐環境性

使用周囲温度

−10～+55°C（氷結しないこと）^*4

使用周囲湿度

35%～85%RH（結露しないこと）

耐振動

10～500 Hz パワースペクトル密度：0.816 G²/Hz X,Y,Z方向

耐衝撃

100 m/s² 16 msパルス X,Y,Z 各方向1000回

材質

本体はポリカーボネート、FG端子は銅/鉄

質量

約90 g

約42 g

約26 g