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電極針1本につき0.5Lのエア流量でシース効果が得られるように、極限まで針キャップ構造を追及。
エア消費量を押さえ、同時に針先の異物付着量も低減することで、
省エネルギーと省メンテナンスの両立が可能になりました。
メイン電極針のピッチ間にアシストエアを装備。
シース効果を確保しつつアシストエアから小流量で流速の速いエアを放出することでクラス最高の高速除電を実現しました。
電極針先端を台形形状にカットすることで電荷の集中を緩和。これにより電極針先端の磨耗、発塵を大幅に削減しました。
電極針の台形カットと合わせて出荷前のクリーン洗浄およびクリーンパックを実施。クリーンルーム等コンタミが問題となる環境でもご使用いただけます。
液晶ガラス除電 |
ウェハー除電 |
食品カップ除電 |
セル除電 |
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