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I.C.C.制御により高精度イオンバランスを実現
「ウエハ搬送時の除電」の画像
ウエハ搬送時の除電
静電気による放電を防止します。
 
従来方法では  

ウエハを搬送する工程でアームとウエハの電位差により放電が起こり静電破壊が発生していました。
改善のご提案  

パルスAC+I.C.C.制御により高速かつ高精度な除電が行なえ、静電破壊を防止することができます。長距離設置ができますので装置の干渉を防ぐことができます。

この商品で実現できます

超高速・
高精度除電器
SJ-GL
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