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用途・事例
さまざまな切り口から改善事例をトピックとして紹介しています。
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「半導体・液晶業界」
液晶ガラスの有無検知
- 改善のポイント
- 液晶の製造プロセスにて搬送時のガラス基板の有無を検知します。透過量を高精度に判別できるので、安定した検出が可能です。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
![[技術資料] 現場改善のヒント集 [有無検出・位置決め]](http://www.keyence.co.jp/img/solution/1062/K2717U-1060-1.gif){kind=small}
チップ部品の吸着ミス検出
- 改善のポイント
- 実装工程で、チップの傾きやチップの有無など微小ワークを確実に検出します。また、80μｓサンプリングのため、高速ラインでの検出も可能です。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
![[技術資料] 現場改善のヒント集 [有無検出・位置決め]](http://www.keyence.co.jp/img/solution/1063/K2717U-1060-1.gif){kind=small}
炉搬送前ステージ傾き検知
- 改善のポイント
- 炉に搬送する前のステージを多点で測定することにより傾きを計算できます。傾きを補正してから製品を搬送することで均一の温度制御が可能になります。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
![[技術資料] 現場改善のヒント集（予知保全・予防保全・見える化）](http://www.keyence.co.jp/img/solution/1046/kaizen_hint5.gif){kind=small}
稼働中のユニットの挙動検出
- 改善のポイント
- 装置内の各種ユニット挙動を測定します。小型ヘッドのため、小さなスペースでも設置が可能で、設備導入後でも組み込むことが可能となります。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
![[技術資料] 現場改善のヒント集（予知保全・予防保全・見える化）](http://www.keyence.co.jp/img/solution/1047/kaizen_hint5.gif){kind=small}
カセット内のウエハ・ガラスの有無検知
- 改善のポイント
- ストッカ内のガラスの有無や飛び出しを同時に検出します。アナログ処理を行うことで、ストッカ自体の位置ズレが発生しても安定検出します。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
![[技術資料] 現場改善のヒント集（予知保全・予防保全・見える化）](http://www.keyence.co.jp/img/solution/1048/kaizen_hint5.gif){kind=small}
ボンディング後のチップ高さ測定
- 改善のポイント
- ボンディング前の基板や実装後のチップ高さを測定し、後工程の吸着ノズルやディスペンサノズルへフィードバック制御を行います。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
![[技術資料] 現場改善のヒント集（予知保全・予防保全・見える化）](http://www.keyence.co.jp/img/solution/1049/kaizen_hint5.gif){kind=small}
ウエハのノッチ検出
- 改善のポイント
- ウエハのノッチ位置を高精度に検出します。繰り返し精度５μｍとクラス最高の判別能力を発揮します。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
![[技術資料] 現場改善のヒント集 [有無検出・位置決め]](http://www.keyence.co.jp/img/solution/1070/K2717U-1060-1.gif){kind=small}
液晶基板の位置決め
- 改善のポイント
- 液晶ガラスの搬送位置決めを高精度に行います。新アルゴリズムを搭載し、透明体でも安定した検出が可能です。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
![[技術資料] 現場改善のヒント集 [有無検出・位置決め]](http://www.keyence.co.jp/img/solution/1071/K2717U-1060-1.gif){kind=small}
透明シートのエッジコントロール
- 改善のポイント
- フィルムの巻き取り工程でエッジ制御を行い、均一な巻き取りを実現します。遮光レベルを自由に変更できるので薄膜フィルムも高精度に判別できます。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
![[技術資料] 現場改善のヒント集 [有無検出・位置決め]](http://www.keyence.co.jp/img/solution/1076/K2717U-1060-1.gif){kind=small}
ウエハ検出
- 改善のポイント
- 搬送中のウエハを検出します。光電センサでは、ウエハの表面の色、模様、光沢の影響により検出が不安定でした。ＦＷシリーズなら表面状態の影響を受けずに安定して検出可能です。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
ガラスの反り確認
- 改善のポイント
- 複数台のGT2を使用し、ガラスの反りを確認できます。低測定力タイプもラインナップしておりますので、対象物を傷つけることなく測定可能です。
関連資料・カタログ
ハードディスクの面振れ測定
- 改善のポイント
- 世界最速392kHzサンプリングにより、高速回転しているハードディスクの動特性を非接触で測定できます。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
チップ部品の重なり検出
- 改善のポイント
- チップ部品の立ちや重なりを、カバー前に検出するために、高精度CCDレーザ変位計LKシリーズが使用されています。超小型サイズのため、装置内への取り付けが容易に行なえます。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
基板の反り測定
- 改善のポイント
- 基板の反り量を非接触で測定します。半透明の基板表面も正確に測定できます。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
スパッタリングターゲット磨耗形状測定
- 改善のポイント
- 表面形状を高精度に計測することで、磨耗量を正確に算出することができます。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
極板の厚み測定
- 改善のポイント
- 極板の厚みをインラインで連続的に監視します。不良の発生をいち早くキャッチするため、ムダな生産を最小限に抑えることが可能です。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
IC樹脂モールドの形状測定
- 改善のポイント
- 樹脂モールドの形状を非接触で測定します。最新の計測アルゴリズムにより半透明樹脂の形状も正確に測定できます。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
ロボットアームの原点位置確認
- 改善のポイント
- ロボットアームの停止位置確認だけでなく稼動中の動作特性を同時に測定できます。
関連資料・カタログ
ターンテーブルの振れ測定
- 改善のポイント
- ワイドスポットレーザにより、表面の荒れたワークでも高精度に測定できます。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
ウエハの位置確認
- 改善のポイント
- テーブル上にセットされたウエハが固定ピンに乗り上げていないかを確認します。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
BGAボール高さ測定
- 改善のポイント
- BGA基盤のそりによる半田ボールの高さの違いが高精度に測定できます。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
基板の反り・チップの傾き検出
- 改善のポイント
- 基板の反りやチップ部品の傾きをライン上で検出するためにLJ-Gが使用されています。2次元変位センサであるため、センサを動かさずに表面形状から多点測定が可能になります。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
試料の形状測定
- 改善のポイント
- φ2μmの超小スポット径により、表面形状を正確にトレースできます。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
クリームはんだの印刷形状測定
- 改善のポイント
- 基板上のクリーム半田の高さ・形状を測定するために、ダブルスキャンレーザ測定器LT-9000シリーズが使用されています。最高分解能0.0１μｍにて測定することが可能です。世界初の高精度ダブルスキャン方式により、ウエット面、鏡面・Rのついた形状でも測定でき、レンズをセンサ内部で動かすことで、クリーム半田のペーストも正確に測定することができます。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
樹脂モールド上のレーザマーカ刻印深さ測定
- 改善のポイント
- ICの樹脂モールドに印字されるロット番号などのレーザマーカ印字深さを測定するためにダブルスキャンレーザ測定器LT-9000シリーズが使用されています。モニタ上で85倍の拡大画像を見ながら、分解能0.01μmで測定する事ができます。 移動ステージと連動させることで、印字深さ、幅の測定が可能になります。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
チップ実装面の形状測定
- 改善のポイント
- リアルタイムで拡大、縮小、回転など様々な表示を自在に使用することで形状観察が容易に行なえます。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
HDDヘッドの形状測定
- 改善のポイント
- φ2μmのスポット径のレーザプローブにより、微細なワークも高精度に計測できます。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
BGAの形状測定
- 改善のポイント
- プロファイル計測や平面計測など多彩な計測モードに加え、形状を直感的に観察できる3D表示機能を搭載。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
不織布の形状測定
- 改善のポイント
- 非接触レーザで計測するため、あらゆる対象物を計測可能です。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
テーピングマシンのがたつき測定
- 改善のポイント
- テーピングマシンの動きがスムーズで無くなると、吸着しているチップ部品がエンボステープ内で横を向いたり飛び出したりします。
関連資料・カタログ
チップマウンターの動的精度確認
- 改善のポイント
- アームの動的精度を装置稼動状態で常時監視。原点ズレによるマウント不良を防止します。超小型センサヘッドにより、装置の取り付け場所も選びません。
関連資料・カタログ
混合タンクのレベル測定
- 改善のポイント
- タンク内の液面高さを測定。上下限レベルを設定することにより、各材量の供給弁を制御し、ポンプの破損や空充填を防ぎます。
関連資料・カタログ
半田槽の液面検出
- 改善のポイント
- 自動半田ディップ槽の液面を一定に保つために、液面を耐熱型センサで検出します。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
![[技術資料] 現場改善のヒント集 [有無検出・位置決め]](http://www.keyence.co.jp/img/solution/524/K2717U-1060-1.gif){kind=small}
（研磨前）ガラスの厚み測定
- 改善のポイント
- 送りベルトにて搬送する際の停止箇所を利用し、エリアフタ機能によって両側からセンサを押し当てて厚みを高精度に測定します。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
LCD組み付け工程での位置決め
- 改善のポイント
- LCDパネル上のマークとフレームの位置を確認することで組み付け不良を防止します。
関連資料・カタログ
ピンピッチ測定
- 改善のポイント
- ピン部分をウィンドウで囲むだけで簡単に最大、最小、平均値が求められます。メガピクセルCCDにより、さらに計測精度が向上します。
関連資料・カタログ
BGA基板のペースト抜け
- 改善のポイント
- ペースト量不足によるダイ接着不良を早期発見。不良の大量生産をストップ。
関連資料・カタログ
ICの各種検査
- 改善のポイント
- ICリードのセンターピッチ測定やリード曲がり、抜けなど、高価な専用機でしか行なえない複合検査を高速で実現できます。
関連資料・カタログ
TABテープリードピッチ測定
- 改善のポイント
- 液晶TABテープ上のリードのセンターピッチを測定します。
関連資料・カタログ
ハウジングの欠け・バリ検出
- 改善のポイント
- コネクタのハウジング部に発生した欠けやバリを検出します。周囲の状態と比較したうえで判定するスキャニング方式採用で、高精度かつ安定した検出を実現します。
関連資料・カタログ
エンボステープ内のチップカウント
- 改善のポイント
- 高速で移動するエンボステープのチップ有無を確実に検出します。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
ガラス基板アライメント
- 改善のポイント
- FS-V31のスーパーターボモードを使用すれば、ガラス基板に傾きがある場合でも±8°まで安定した検出が可能です。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
基板のバッドマーク検出
- 改善のポイント
- 多様な色がある基板のバッドマークもデジタル表示のカラーセンサにより確実に検出します。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
拡散炉の温度データ収集
- 改善のポイント
- 均一な膜の形成に重要な要素である炉内の温度を記録します。ネットワーク経由でのデータの吸出しも可能なため、データ回収の際に都度クリーンルームへの入室を行う必要もありません。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
![[技術資料] ペーパレスレコーダ「使いこなし術」](http://www.keyence.co.jp/img/solution/1031/paperlessrecoder.gif){kind=small}
![[技術資料] 温度計測の真髄](http://www.keyence.co.jp/img/solution/1031/ondokeisoku.jpg){kind=small}
発光分光器の出力記録
- 改善のポイント
- 成膜不良の要因となる、プラズマ発光時間や発光量の記録を残し、トレーサビリティ対応をします。簡単検索機能により、万一の際にも目的のデータにいち早くたどり着けます。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
![[技術資料] ペーパレスレコーダ「使いこなし術」](http://www.keyence.co.jp/img/solution/1032/paperlessrecoder.gif){kind=small}
![[技術資料] 温度計測の真髄](http://www.keyence.co.jp/img/solution/1032/ondokeisoku.jpg){kind=small}
ワイヤーボンディング前ヒーター温度記録
- 改善のポイント
- 導通不良の要因となる、ワイヤーの接着不良を防止するため、ヒーターの温度を記録します。アラーム出力標準装備により、万一の異常の早期発見にも貢献します。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
![[技術資料] ペーパレスレコーダ「使いこなし術」](http://www.keyence.co.jp/img/solution/1033/paperlessrecoder.gif){kind=small}
![[技術資料] 温度計測の真髄](http://www.keyence.co.jp/img/solution/1033/ondokeisoku.jpg){kind=small}
ウエハの飛び出し検出
- 改善のポイント
- 一眼構造により透過型と同等の特性を実現しているため、ウエハの飛び出し位置のバラツキにも確実に対応します。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
純水処理装置の記録
- 改善のポイント
- 流量はもちろん、導電率計や比抵抗などのデータを記録し、超純水の管理を行います。積算流量表示も容易ですので、即使用を開始できます。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
![[技術資料] ペーパレスレコーダ「使いこなし術」](http://www.keyence.co.jp/img/solution/1034/paperlessrecoder.gif){kind=small}
![[技術資料] 温度計測の真髄](http://www.keyence.co.jp/img/solution/1034/ondokeisoku.jpg){kind=small}
ガラス基板の検出
- 改善のポイント
- 同軸構造により、ガラス基板のような光が正反射で返ってくるワークでもセンサを傾けることなく、安定した検出を行なうことができます。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
汚水処理のPH値記録
- 改善のポイント
- 工場からの排水を河川に流す際の、濁度やPH値等のデータを記録します。LANでの遠隔監視も可能なため、事務所で管理をすることも可能です。
- この商品で実現できます
関連資料・カタログ
![[技術資料] ペーパレスレコーダ「使いこなし術」](http://www.keyence.co.jp/img/solution/1038/paperlessrecoder.gif){kind=small}
![[技術資料] 温度計測の真髄](http://www.keyence.co.jp/img/solution/1038/ondokeisoku.jpg){kind=small}
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