用途・事例

改善のポイント

ストッカ内のガラスの有無や飛び出しを同時に検出します。アナログ処理を行うことで、ストッカ自体の位置ズレが発生しても安定検出します。

この商品で実現できます

• CMOS レーザアプリセンサ ILシリーズ

関連資料・カタログ

［カタログ］　　　ILシリーズ CMOS レーザアプリセンサ

［技術資料］　　測定原理［レーザー判別変位とは？］

[技術資料] 　　現場改善のヒント集（予知保全・予防保全・見える化）

改善のポイント

ウエハのノッチ位置を高精度に検出します。繰り返し精度５μｍとクラス最高の判別能力を発揮します。

この商品で実現できます

• CCD透過型デジタルレーザセンサ IGシリーズ

関連資料・カタログ

［カタログ］　　　IG・IBシリーズ ラインナップカタログ

［技術資料］　　測定原理［光学式透過型とは？］

[技術資料] 　　現場改善のヒント集 [有無検出・位置決め]

改善のポイント

均一な膜の形成に重要な要素である炉内の温度を記録します。ネットワーク経由でのデータの吸出しも可能なため、データ回収の際に都度クリーンルームへの入室を行う必要もありません。

この商品で実現できます

• タッチ型ペーパレスレコーダ TR-Vシリーズ

関連資料・カタログ

［カタログ］　　TR-V1000/500/1050/550

[技術資料]　　ペーパレスレコーダ「使いこなし術」

[技術資料]　　温度計測の真髄

改善のポイント

成膜不良の要因となる、プラズマ発光時間や発光量の記録を残し、トレーサビリティ対応をします。簡単検索機能により、万一の際にも目的のデータにいち早くたどり着けます。

この商品で実現できます

• タッチ型ペーパレスレコーダ TR-Vシリーズ

関連資料・カタログ

［カタログ］　　TR-V1000/500/1050/550

[技術資料]　　ペーパレスレコーダ「使いこなし術」

[技術資料]　　温度計測の真髄

改善のポイント

流量はもちろん、導電率計や比抵抗などのデータを記録し、超純水の管理を行います。積算流量表示も容易ですので、即使用を開始できます。

この商品で実現できます

• タッチ型ペーパレスレコーダ TR-Vシリーズ

関連資料・カタログ

［カタログ］　　TR-V1000/500/1050/550

[技術資料]　　ペーパレスレコーダ「使いこなし術」

[技術資料]　　温度計測の真髄

改善のポイント

KV-5000/3000シリーズにはMAX100ｋHz2軸の位置決め機能と高速割り込み入力10点をCPUに内蔵していますので、CPU本体だけでセンサ入力に対してばらつきのない位置制御が可能です。

この商品で実現できます

• プログラマブルコントローラ KV-5000/3000シリーズ

関連資料・カタログ

［カタログ］　　KVシリーズ総合カタログ

［カタログ］　　KVモーション総合カタログ

改善のポイント

KV-5000/3000シリーズはCPU本体のモータコントロール機能を使用することでパルスモータをMAX100kHzまで速度制御することが可能です。 また現在速度はCPU本体のハイパーアクセスウィンドウで簡単に確認し、速度変更も本体にあるスイッチ操作で簡単に変更することが可能です。

この商品で実現できます

• プログラマブルコントローラ KV-5000/3000シリーズ

関連資料・カタログ

［カタログ］　　KVシリーズ総合カタログ

［カタログ］　　KVモーション総合カタログ