高品質管理(シックスシグマ)

研磨装置内でのウェハの厚み測定

赤外光で測定することでウェハの厚みを片側から測定できるようになり、BGテープの影響なく厚み管理が可能になりました。

研磨装置内でのウェハの厚み測定

  • 関連商品はこちら
  • 関連商品カタログのダウンロードはこちら
page top