どのような測定が可能か
共焦点レーザー顕微鏡は、波長の短いレーザーを用いた高感度な顕微鏡であり、高解像度の三次元画像を得ることができます。
そのため、観察対象の形状解析や形状測定に活用されています。ここでは、キーエンス製共焦点レーザ顕微鏡、VK-Xシリーズの機能を例にご紹介します。
平均段差
画像上で設定した領域内の平均高さや、あらかじめ決めた基準領域との段差、最大高さの差、最小高さの差を測定できます。また、領域内での最大高さ、最小高さの検出ができることで、平面度・平坦度の測定も可能です。
表面粗さ
部品の加工面の状態（凹凸）を表すのが「表面粗さ」です。
共焦点レーザー顕微鏡は、光源にレーザーを用いているため観察対象を傷付けることなく測定ができます（非接触式）。そのため、軟らかい物や傷つけたくない物の測定に最適です。
また、レーザーの先端径は0.2µmと細く、微細な凹凸形状を観察できます。
画像処理によりカラーの三次元画像を得ることができるため、実物に近い状態で容易に平面の状態を観察できるのも特長の1つです。
面積/表面積/体積
共焦点レーザー顕微鏡で得られた三次元画像を利用して、任意に指定した領域の面積/表面積/体積を測定できます。キズや凹みを体積で数値化したり、表面積の増加度合いから製品の特性を見極める事ができます。
