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ガラス基板検出用ファイバ FU-38S |
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25mmまでの長距離検知が可能でしかも40mmはなれたガラス基板は検知しません。 |
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| スーパーターボモードを使用すればガラス基板に傾きがある場合でも±8°まで安定した検出を行なえます。 |
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超小形マッピングセンサ FU-18M |
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超小型 |
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| W2×H1.5×D20mmの超小型サイズ。ロボットハンドの小型・軽量化に貢献します。 |
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超狭視界 開口角約3° |
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| ウエハ検出時の光の回り込みを低減できます。 |
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取付金具を付属 |
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| 取り付けがしやすい専用の金具を用意しました。既存の設備にも簡単に取り付けられます。 |
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耐熱型ガラス基板検出用ファイバ FU-38K/H |
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周囲温度に合せて選べる
2タイプ250℃・180℃ |
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| 限定反射型で初めて耐熱タイプを用意しました。しかも周囲温度によって選べる250℃と180℃の2タイプを用意。熱処理工程に合わせて選択できます。 |
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うす型取付ベース厚み5mm |
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| 高温タイプで厚み5mmを実現。従来、治具等で透過型をVの字で使用していたのに対し1/2以下の省スペースで取付できます。 |
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長距離限定反射2.5~22mm(SUPER使用時) |
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| TECHNO |
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| 限定反射型で、背景の影響を受けず、安定検出できます。 |
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小型限定反射 |
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耐熱限定反射 |
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FU-37最小検出物体
φ0.01mm金線 |
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FU-38最小検出物体 φ0.01mm金線 |
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FU-38V最小検出物体 φ0.08mm銅素線 |
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FU-38K標準検出物体 透明液晶ガラス |
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FU-38H標準検出物体 透明液晶ガラス |
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