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ファイバユニット FUシリーズ

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水のかかる環境でも安定検出 FU-97P、FU-97S

ファイバユニット FUシリーズ

ハの字取り付けをM4ネジ2本で簡単に取り付けられます。

ハの字で液だまりを回避

ファイバユニット FUシリーズ

投光、受光が分かれているため、従来の反射型のような
液だまりによる誤検出を低減できます。

アプリケーション

ファイバユニット FUシリーズ

洗浄後のウエハ有無検出


洗浄液がかかるような環境に設置することができます。
また、液だまりを回避する構造になっていますので
誤作動なく安定した検出が可能です。

反射型

ファイバユニット FUシリーズ

  • ※1 最小検出物体は検出距離と感度を最適状態に設定したときの値です。

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