【新商品情報】 “面光電”センサ「AIシリーズ」誕生! 面で検出し、絵で捉える。だから、ズレてもOK、判別も可能。詳細は こちら

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反射型

代表型式

検出方式 光の出る方向 型式 ケーブル
曲げ半径(mm)
 
限定反射型 トップ FU-97P R40 特長 仕様 外形寸法図
FU-97S 特長 仕様 外形寸法図

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水のかかる環境でも安定検出
FU-97P   仕様外形寸法図
FU-97S   仕様外形寸法図

ファイバユニット FUシリーズ

ハの字取り付けをM4ネジ2本で簡単に取り付けられます。

ハの字で液だまりを回避

ファイバユニット FUシリーズ

投光、受光が分かれているため、従来の反射型のような
液だまりによる誤検出を低減できます。

アプリケーション

ファイバユニット FUシリーズ

洗浄後のウエハ有無検出


洗浄液がかかるような環境に設置することができます。
また、液だまりを回避する構造になっていますので
誤作動なく安定した検出が可能です。

耐油/薬品

フッ素樹脂カバーで
あらゆる環境に対応

反射型/限定反射型

種類 ファイバ長(径)   形状
使用周囲温度   (mm)
ケーブル
曲げ
半径
(mm)
検出距離(mm)※1 光軸径
(mm)
(標準検出
物体)
型式
質量
価格(¥)
検出
方式
光の出る
方向
サイズ
(mm)
MEGA
FINE
その他
パワー
モード
反射型 トップ φ4.5 ファイバユニット FUシリーズ R40 MEGA:310
FINE:140
ULTRA:290
SUPER:250
TURBO:200
HSP:80
FU-91
約32g
28,900
限定
反射型
トップ 40×28
×9.6
ファイバユニット FUシリーズ R40 MEGA:8~20
FINE:8~20
ULTRA:8~20
SUPER:8~20
TURBO:8~20
HSP:8~16
□ 200mm
t0.7mm
ガラス基板
FU-97P
約75g
36,200
35.2×39
×9
ファイバユニット FUシリーズ FU-97S
約90g
39,800
  • ※1 FS-Nシリーズ使用時。検出距離の最大を3600mmとしているのは、ファイバ長が片側2mのためです。
    反射型の検出距離は白紙(標準検出物体)に対する値です。

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