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テーマごとに改善成功事例をトピックスとしてご紹介します。
ご興味のあるテーマをご覧ください。 |
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ウエハのノッチでの位置検出 |
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| 改善のポイント |
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| ウエハのノッチを検出し、位置決めを行ないます。ノッチのある部分と無い部分との光の遮光量で検出します。 |
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フォトマスク上のペリクル膜有無検出 |
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| 改善のポイント |
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| レーザ帯のしゃ光量によって透明のぺリクル膜の除去ミスを検出し、洗浄機でのフォトマスク破損を防止します。
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ガラス基板の検出 |
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| 改善のポイント |
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| 同軸構造により、ガラス基板のような光が正反射で返ってくるワークでもセンサを傾けることなく、安定した検出を行なうことができます。 |
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ウエハリングの検出 |
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| 改善のポイント |
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| 長距離スポット可変によりウエハ口径が変わってもセンサの位置をかえる必要がありません。 |
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