新商品速報

簡単に高精度厚み測定設置による誤差ゼロを実現

分解能0.001μm 直線性±0.09μm 透明・鏡面体角度特性±45°

Point.1

専用治具と光軸合わせ機能で簡単設置

対象物を挟み込んでの厚み測定において、高精度測定を実現する秘訣は光軸を合わせることです。その光軸合わせを簡単に実現できることで面倒なく高精度測定が実現できます。

従来

CLシリーズ

Point.2

発熱・電気ノイズによる影響ゼロ

ヘッド内部は電子部品がなく、レンズのみで構成。発熱・ノイズによるひずみ・光軸ずれなど、誤差要因の影響はありません。

※ 通電から10分後のセンサヘッド(イメージ図)

従来

CLシリーズ

Point.3

透明体でも測定点の位置ズレなし

同軸のマルチカラー共焦点方式を採用したため、透明体・鏡面体の対象物の高さが変わっても、同じ測定点を位置ズレなく測定できます。センサヘッドの設置方法を傾ける必要もないため、設置も簡単です。

従来

CLシリーズ

従来

CLシリーズ

Point.4

対象物が傾いても高精度測定

マルチカラー共焦点方式のため、透明体・鏡面体の対象物に傾きや反りがあっても高精度に測定可能です。

設置事例

  • 電極の厚み測定
  • セパレータの厚み測定
  • 液晶ガラスの厚み・反り測定

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