もうステージに乗らないから…とあきらめない 特殊な条件でも対応可能なレーザ顕微鏡オプションのご紹介 白色干渉計搭載 レーザ顕微鏡 VK-X3000

[超大型サンプルステージ]お客様の要望にあわせて、大型基板などのサンプルが固定できるようにステージをご提案いたします。[300mmウエハステージ]300mmウエハ上の全域が死角なく観察・解析できます。測定部にそのまま取り付け可能。他の試料ステージのサイズはご相談ください。[VKスペーサ]顕微鏡背面部に高剛性の専用スペーサを取り付けることで、大型サンプルの測定が可能になります。[長距離レンズ]ワーキングディスタンスがしっかりとれて、ゆとりをもってサンプルを置ける、作動距離の長いラインナップも充実。[傾斜ステージ]微小傾斜の調整が簡単におこなえます。ステージ上にそのまま取り付けがおこなえ、着脱も簡易におこなえます。[電動ステージ]高精度電動XYステージにより、ナビゲーション、ティーチング測定や広範囲画像連結測定を正確に実現します。

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