レーザの“測れない”を克服 対象物を選ばないレーザ顕微鏡 白色干渉計搭載 レーザ顕微鏡 VK-X3000 [ナノ・マイクロ・ミリ]これ一台で測定は完結する[難しい素材の粗さ測定も]Siウェハ裏面│3000倍│表面粗さ測定/液相成長によるGaAs上のアセット│3000倍│非真空による高倍率撮影[凹凸形状や広範囲の測定も]カメラマウント部端子│30×12mm│端子の形状測定/電子基板│50×40mm│[ナノレベルの測定も]段差ゲージ(8nm)│200倍│微小段差の形状測定[膜厚の測定も]分光干渉膜厚測定

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