3つの膜厚測定で、膜厚・薄膜・厚みを高度に測定。
【レーザ透過式膜厚測定】
膜も膜の下面も、そのまま3D形状を取得。
透明体は、「最表面と裏面の二か所から反射光が返ってくる」という特性を活かすことで、その厚みを測ることができます。VK-X3000は、最表面と裏面を丸ごと3Dにして、その断面形状から膜厚を測定します。
【分光干渉膜厚測定】
100nmレベルの薄膜も、多層の薄膜も、正確に。
膜の表面で反射した光と裏面で反射した光の干渉を解析し、0.1μm程度の薄膜の厚みを測定することができます。
代表的な材質約70種類の屈折率データベースを標準搭載しており、多様な膜種の解析が可能です。
【白色干渉 厚み/段差測定】
ナノ・マイクロ・ミリ、多様な厚みや段差も測れる。
白色干渉計搭載により、従来では測りづらかった、わずかな厚みや段差もナノレベルで測定が可能です。
また、レーザ共焦点やフォーカスバリエーションの原理も搭載しており、ミクロンレベルやミリレベルの厚みや段差も測定が可能です。
