ワンショット3D形状測定機 VR-6000 シリーズ
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ワンショット3D形状測定機 コントローラ VR-6000


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VR-6000 - ワンショット3D形状測定機 コントローラ

仕様

型式

VR-6000

種類

コントローラ

対応OS

Windows10 Professional / Windows11 Professional

対応ヘッド

VR-6200、 VR-6100

観察視野

低倍(広視野)

15型モニタ上倍率 12×

24.0 mm

18.0 mm

15型モニタ上倍率 25×

12.0 mm

9.0 mm

15型モニタ上倍率 38×

8.0 mm

6.0 mm

15型モニタ上倍率 50×

4.5 mm

高倍(高解像度)

15型モニタ上倍率 40×

7.6 mm

5.7 mm

15型モニタ上倍率 80×

3.8 mm

2.9 mm

15型モニタ上倍率 120×

2.5 mm

1.9 mm

15型モニタ上倍率 160×

1.4 mm

ズーム

1~4倍

高さ測定

表示分解能

0.1 μm

高さ測定範囲

Z連結なし

低倍(広視野): 10 mm
高倍(高解像度): 1 mm

Z連結あり

低倍(広視野): 50 mm
高倍(高解像度): 30 mm

繰り返し精度σ

Z連結なし

0.4 μm *1

Z連結あり

1.0 μm *1

正確さ

Z連結なし

±2.5 μm *1

Z連結あり

±4.0 μm *1

幅測定

繰り返し精度σ

低倍(広視野): 1 μm
高倍(高解像度): 0.5 μm
*1

正確さ

低倍(広視野): ±5 μm
高倍(高解像度): ±2 μm
*1

連結機能

VR-6200: 全自動測定(XY自動制御+Z自動制御、θ自動制御)、自動マップ画像作成、自動領域設定 *2
VR-6100: 手動測定(XY手動移動+Z自動制御) *2

連結機能

電動回転ユニット

VR-6200: 対応 *2
VR-6100: 非対応

XY測定可能範囲

VR-6200: 300×150 mm *2
VR-6100: 92×86 mm *2

ステージ

XYストローク

VR-6200: 278×134 mm(電動)
VR-6100: 70×70 mm(手動)

Zストローク

69 mm(電動)

耐荷重

4.5 kg

作動距離

75 mm

撮像素子

1型 400万画素 モノクロCMOS

投光レンズ

ダブルテレセントリックレンズ×2

受光レンズ

ダブルテレセントリックレンズ

照明系

観察用光源

LEDリング照明(赤、青、緑)

測定用光源

白色LED

データ処理部

弊社指定専用PC

電源

電源電圧

AC100~240 V ±10% 50/60 Hz

消費電力

200 VA以下

耐環境性

使用周囲温度

+15~30℃

使用周囲湿度

20~80%RH(ただし結露なきこと)

質量

約4 kg

*1 当社規定の標準ゲージを使用し、当社規定の測定モードで測定したときの値(周囲温度23±1℃)
*2 測定機能拡張モジュール(VR-H4J)が必要