本体 KS-1100

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型式		KS-1100
X/Yステージ	移動量	100mm (X/Y)
	ステージ面サイズ	180mm×180mm
	制御	フルクローズドループ
	ガイド方式	クロスローラ
	駆動方式	リニアモータ
	最大駆動速度	150mm/sec
	最小移動分解能	0.1µm
	繰り返し位置決め精度	±0.5µm
	位置決め精度	4µm^*1
	ロストモーション	1µm
	真直度 (垂直/水平)	2µm/2µm^*2
θステージ	移動範囲	360°
Zステージ	可動範囲	100mm
	耐荷重	1.5kgf (14.7N)
	スケール分解能	1µm
アナログ入力	チャンネル数	最大2ch
	方式	シングルエンド方式
	測定確度	0.1% of F.S.
	定格電圧	±10V
制御入力	リモート端子	無電圧接点入力
RS-232Cインターフェース		測定データ取得 (ボーレート 115200bps)
USB インターフェース		USB Revision 2.0 フルスピード (USB1.1互換)準拠
データ容量		10Mデータ (40Mbyte)
定格	電源電圧	AC 100 ～ 120 V ±10 %、50/60 Hz
	消費電力	200VA
耐環境性	使用周囲温度	+5 ～ +40 ℃
	使用周囲湿度	35 ～ 85 % RH (結露しないこと)
質量		約 20 kg
^1 移動量10mmの範囲においての値。 ^2 移動量30mmの範囲においての値。