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高精度形状測定システム
KS-1100 シリーズ

測定器の能力を引き出す3次元ステージシステム

高速・高精度・高剛性
測定能力を引き出すステージシステムの理想形を追及

回転テーブル/Y軸 高精度ステージ/VFD表示/Z軸 リニアスケール/リニアシャフトモータ/X軸 高精度ステージ/高剛性クロスローラガイド

業界初

高速 - リニアシャフトモータ採用

駆動システムにリニアシャフトモータを採用することにより秒間150mmの高速移動を実現。駆動部はシャフトと非接触で動作するため、騒音や振動も抑制され従来問題になっていた低速時の速度のバラつきもなくなりました。また機械的な遊びが要因のバックラッシュやコギングも発生しないため従来にない高精度を実現しました。

  • リニアシャフトモータは強力な永久磁石であるシャフト部に電磁石の駆動部を組み合わせ、駆動部への電源供給により発生する磁力によって駆動するシステムです。

高精度 - フルクローズドループ制御を実現

高精度リニアスケールをステージ自体に取り付け、ステージの位置を直接確認して、位置決めを行なうフルクローズドループを実現。従来のステージはボールネジの回転数など駆動側の駆動量で移動距離を推測する「オープンループ」が一般的でした。しかしオープンループは動作を繰り返すうちに次第にステージの位置に誤差を生じてきます。フルクローズドループ制御は現在のステージ位置を直接確認するため動作を繰り返しても誤差は蓄積しません。これにより高精度な位置決めが可能になりました。

制御システム概要

  • 1. 現在のステージ位置データは常時リニアエンコーダから比較・演算部にフィードバックされています。
  • 2. CPUから送られた座標命令信号は比較・演算部で現在のステージ位置との差分に変換されます。
  • 3. 差分のデータがモータドライバに移動量として送られステージが移動します。
  • 4. ステージの位置データは、リニアエンコーダから比較・演算部にフィードバックされます。

高剛性 - クロスローラガイド採用

円柱型のベアリングを高精度に研磨されたV溝に沿って一つ一つ直交配置したクロスローラガイドを採用。ステージ面からの力は円柱の側面全体にかかることになり、従来のボールベアリングタイプのように力を一点で受けるタイプと比較して高精度かつ高剛性を実現しました。

KS-Measure

使い勝手を追求した形状測定ソフト(KS-Measure)により測定パラメータ(測定エリア、測定ピッチ等)の設定や保存を行い、ワンクリックで測定ができます。また専用ソフトのため、レーザ測定器の設定や測定値のリアルタイム表示、形状測定における残り時間表示などがPC画面上で確認できます。

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