【新商品情報】 高精度に“瞬間3D測定”白色干渉3D変位計「WI-5000シリーズ」発売。詳細は こちら!

高精度形状測定システム
KS-1100 シリーズ
本体 KS-1100

仕様

型式

KS-1100*1

X/Yステージ

移動量

100mm (X/Y)

ステージ面サイズ

180mm×180mm

制御

フルクローズドループ

ガイド方式

クロスローラ

駆動方式

リニアモータ

最大駆動速度

150mm/sec

最小移動分解能

0.1µm

繰り返し位置決め精度

±0.5µm

位置決め精度

4µm*2

ロストモーション

1µm

真直度 (垂直/水平)

2µm/2µm*3

θステージ

移動範囲

360°

Zステージ

可動範囲

100mm

耐荷重

1.5kgf (14.7N)

スケール分解能

1µm

アナログ入力

チャンネル数

最大2ch

方式

シングルエンド方式

測定確度

0.1% of F.S.

定格電圧

±10V

制御入力

リモート端子

無電圧接点入力

RS-232Cインターフェース

測定データ取得 (ボーレート 115200bps)

USB インターフェース

USB Revision 2.0 フルスピード (USB1.1互換)準拠

データ容量

10Mデータ (40Mbyte)

定格

電源電圧

AC100~120±10% 50/60Hz

消費電力

200VA

耐環境性

使用周囲温度

+5 ~ +40℃

使用周囲湿度

35 ~ 85%RH (結露しないこと)

質量

約20kg

*1 この商品は、外国為替および外国貿易法の規定により輸出規制に該当します。
日本国外に持ち出す際には日本国政府への輸出許可申請等必要な手続きをお取りください。

*2 移動量10mmの範囲においての値。
*3 移動量30mmの範囲においての値。

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