【新商品情報】配管を切らずにエア流量が測定できる。 クランプオン式気体流量計「FD-Gシリーズ」 誕生!

高精度形状測定システム
KS-1100 シリーズ

仕様

本体

型式

KS-1100

X/Yステージ

移動量

100mm (X/Y)

ステージ面サイズ

180mm×180mm

制御

フルクローズドループ

ガイド方式

クロスローラ

駆動方式

リニアモータ

最大駆動速度

150mm/sec

最小移動分解能

0.1µm

繰り返し位置決め精度

±0.5µm

位置決め精度

4µm*1

ロストモーション

1µm

真直度 (垂直/水平)

2µm/2µm*2

θステージ

移動範囲

360°

Zステージ

可動範囲

100mm

耐荷重

1.5kgf (14.7N)

スケール分解能

1µm

アナログ入力

チャンネル数

最大2ch

方式

シングルエンド方式

測定確度

0.1% of F.S.

定格電圧

±10V

制御入力

リモート端子

無電圧接点入力

RS-232Cインターフェース

測定データ取得 (ボーレート 115200bps)

USB インターフェース

USB Revision 2.0 フルスピード (USB1.1互換)準拠

データ容量

10Mデータ (40Mbyte)

定格

電源電圧

AC 100 ~ 120 V ±10 %、50/60 Hz

消費電力

200VA

耐環境性

使用周囲温度

+5 ~ +40 ℃

使用周囲湿度

35 ~ 85 % RH (結露しないこと)

質量

約 20 kg

*1 移動量10mmの範囲においての値。
*2 移動量30mmの範囲においての値。