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ワンショット3D形状測定機
VR-3000 シリーズ
ワンショット3D形状測定機 ヘッド VR-3050

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テスト機

VR-3050 - ワンショット3D形状測定機 ヘッド

仕様

型式

VR-3050

種類

ヘッド

対応コントローラ

VR-3000

観察測定範囲

広視野モード

15型モニタ上倍率 12×

横 (H)

24mm

縦 (V)

18mm

15型モニタ上倍率 25×

横 (H)

12mm

縦 (V)

9mm

15型モニタ上倍率 38×

横 (H)

8mm

縦 (V)

6mm

15型モニタ上倍率 50×

横 (H)

縦 (V)

4.5mm

高倍率モード

15型モニタ上倍率 40×

横 (H)

縦 (V)

15型モニタ上倍率 80×

横 (H)

縦 (V)

15型モニタ上倍率 120×

横 (H)

縦 (V)

15型モニタ上倍率 160×

横 (H)

縦 (V)

ズーム

1 ~ 4倍

測定可能高さ

広視野モード:10 mm (±5 mm)*1

表示分解能

0.5μm*2

繰り返し精度 (σ)

高さ測定

0.5µm*3

幅測定

広視野モード:1µm*3

測定精度

高さ測定

±3µm*3

幅測定

広視野モード:5µm*3

連結機能

手動(XY、Z)*4

ステージ

XYストローク

70mm(200mm*5)(手動)*6

Z ストローク

88mm (手動)

回転機構

チルト機構

作動距離

75 mm

撮像素子

1型400万画素モノクロCMOS

投光レンズ

ダブルテレセントリックレンズ x 2

受光レンズ

ダブルテレセントリックレンズ

照明系

観察用光源

LEDリング照明 (白)

測定用光源

白色LED

画像サイズ

1024×768pix, 2048×1536pix

データ処理部

弊社指定専用PC (OSはWindows7)*7

定格

電源電圧

AC100 ~ 240V±10% 50/60Hz

消費電力

150 VA

耐環境性

使用周囲温度

15 ~ 30℃

使用周囲湿度

35 ~ 80% ( ただし結露しないこと)

質量

20.6 kg

*1 焦点位置を中心に 低倍側±5 mm、高倍側±0.5 mmの範囲
*2 高さ測定の分解能
*3 当社規定の標準ゲージを使用し、当社規定の測定モードにて測定した場合の値(周囲温度23±1℃)
*4 連結モジュール(VR-H2J)が必要
*5 画像連結用手動スライダー(OP-87717)使用時
*6 VR-3050はXYθステージ(OP-87715)が必要
*7 Windows7 Professional および Ultimate

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