【新商品情報】近くも遠くも瞬間読み取り。高速オートフォーカス ハンディターミナル「BT-W300/W200シリーズ」誕生。

高さ・平面度測定機
HM-1000 シリーズ

仕様

型式

HM-1000

HM-1200

種類

コントローラ

ヘッド

測定領域 XYZ

200 mm × 200 mm × 30 mm (100 mm*1)

表示分解能

0.3 µm

測定精度

平面*2:±2 µm*3
段差*2:±3 µm*4

スポット径

約 ø200 µm

光源

測定用光源

赤外 SLD、中心波長 820 nm
最大 0.6 mW、クラス1

ガイド用光源

赤色半導体 LD 655 nm
最大 45 µW、クラス1

外部リモート入力(測定開始)

無電圧入力 (有接点/無接点)

外部出力

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMOS 出力
定格負荷:DC 24 Vm、0.5 A
ON 抵抗:2 Ω 以下

インターフェース

LAN

RJ45 (1000BASE-T/100BASE-TX/10BASE-T)

USB2.0シリーズA

6 系統 (正面 2、背面 4 系統)

記録

ハードディスクドライブ

500 GB

モニタ出力

16 : 9 Full HD (VGA、DVI)

電源

電源電圧

100 ~ 240 VAC、50/60 Hz

消費電力

430 VA 以下

耐環境性

使用周囲温度

10 ~ 35 ℃

使用周囲湿度

20 ~ 80 % RH (結露無きこと)

保存温度

-5 ~ +45 ℃

質量

約 8 kg

約 30 kg

*1 1度に測定できる段差は 30 mm。 ステージ面を 0 mmとして、100 mm の高さまで測定可能。
*2 使用周囲温度 20±1℃のとき。
*3 弊社標準対象物を使用し、ø100 mm (XY) の範囲で平面を測定した値。ø100 mm ~ ø200 mm (XY) の範囲では±4 µm。ø200 mm (XY) の範囲外では±5 µm。
*4 弊社標準対象物を使用し、平均高さ測定モードで測定した値。

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