白色干渉3D変位計
WI-5000 シリーズ
専用スタンド WI-S1

仕様

型式

WI-S1

XYステージ移動量

X軸:75mm、Y軸:50mm

XYステージ傾き角度

±2度

Z軸ステージ移動量

粗動:64mm、微動:2.0mm

外形寸法(可動部除く)

幅231×高さ408×奥行き360mm

質量

約 10 kg